1. Государственные стандарты База ГОСТ от ФГУП "Стандартинформ" update 01.01.2019, items 43426
  2. Нормативно-техническая документация База нормативно-технических документов update 01.01.2019, items 128867
  3. Строительная документация Архив нормативных актов и документов update 2011, items 23952
Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт) ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» Российский союз промышленников и предпринимателей (РСПП) Федеральная служба по аккредитации (Росаккредитация) Межгосударственный совет по стандартизации, метрологии и сертификации (МГС) Евразийская экономическая комиссия (ЕЭК) Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (МИНПРОМТОРГ) Евразийский экономический союз (ЕАЭС)

Скачать ГОСТ 5.2105-73 Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Дата актуализации: 01.01.2019

ГОСТ 5.2105-73

Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции

Обозначение: ГОСТ 5.2105-73
Статус: действующий
Название рус.: Микроскоп лазерный эллипсометрический ЛЭМ-2. Требования к качеству аттестованной продукции
Название англ.: Laser ellipsometric microscope ЛЭМ-2. Quality requirements of sertified products
Дата актуализации текста: 06.04.2015
Дата актуализации описания: 01.01.2019
Дата издания: 04.10.1973
Дата введения: 31.08.1973
Дата последнего изменения: 12.09.2018
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на лазерный эллипсометрический микроскоп ЛЭМ-2, предназначенный для определения эллипсометрических параметров поляризованного света, определяемых по углам поворота оптических элементов в момент погасания, что позволяет использовать прибор для измерения толщины и показателя преломления прозрачных диэлектрических покрытий на отражающих полированных поверхностях различных материалов и, в частности, на полупроводниковых пластинах, а также для контроля равномерности и однородности диэлектрических пленок по площади и определения наличия и толщины окисла в окнах, вытравленных в процессе изготовления полупроводниковых приборов
Расположен в: Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Электроника Оптоэлектроника. Лазерное оборудование Классификатор государственных стандартов Электронная техника, радиоэлектроника и связь Технологическое и контрольно-испытательное оборудование для изготовления и контроля качества изделий радиоэлектроники Контрольно-испытательное оборудование для контроля качества изделий электронной и радиопромышленности Окп Приборы и аппаратура оптические Приборы оптические общепромышленного, специального и научного применения Микроскопы световые, лупы
ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73ГОСТ 5.2105-73