1. Государственные стандарты База ГОСТ от ФГУП "Стандартинформ" update 01.01.2019, items 43426
  2. Нормативно-техническая документация База нормативно-технических документов update 01.01.2019, items 128867
  3. Строительная документация Архив нормативных актов и документов update 2011, items 23952
Федеральное агентство по техническому регулированию и метрологии (Росстандарт) ФГУП «СТАНДАРТИНФОРМ» Российский союз промышленников и предпринимателей (РСПП) Федеральная служба по аккредитации (Росаккредитация) Межгосударственный совет по стандартизации, метрологии и сертификации (МГС) Евразийская экономическая комиссия (ЕЭК) Министерство промышленности и торговли Российской Федерации (МИНПРОМТОРГ) Евразийский экономический союз (ЕАЭС)

Скачать ГОСТ Р 8.716-2010 Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений

Дата актуализации: 01.01.2019

ГОСТ Р 8.716-2010

Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений

Обозначение: ГОСТ Р 8.716-2010
Статус: действующий
Название рус.: Государственная система обеспечения единства измерений. Рефлектометры экстремального ультрафиолетового излучения для измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм. Методика измерений
Название англ.: State system for ensuring the uniformity of measurements. Reflectometers of the extreme ultraviolet radiation for measurements of the characteristics of multilayer nanostructures in the wavelength range 10 to 30 nm. Measurement procedure
Дата актуализации текста: 06.04.2015
Дата актуализации описания: 01.01.2019
Дата издания: 22.11.2011
Дата введения: 01.01.2012
Дата последнего изменения: 12.09.2018
Область применения: Настоящий стандарт распространяется на средства измерений характеристик многослойных наноструктур в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм - рефлектометры экстремального вакуумного ультрафиолетового излучения, предназначенные для измерения коэффициентов зеркального и диффузного отражения, и устанавливает методику измерений коэффициентов зеркального и диффузного отражения.
ЭУФ рефлектометры обеспечивают в диапазоне длин волн от 10 до 30 нм измерение коэффициентов зеркального и диффузного отражения в диапазоне значений от 0,01 до 0,99.
В качестве источников непрерывного ЭУФ излучения используют электронные накопительные кольца. В качестве источников импульсного ЭУФ излучения используют открытые излучатели на основе капиллярного разряда с испаряющейся стенкой или плазменного фокуса, а также электронные синхротроны. В качестве приемников ЭУФ излучения используют солнечно-слепые фотодиоды на основе многослойных наноструктур
Расположен в: Государственные стандарты Общероссийский классификатор стандартов Метрология и измерения. Физические явления Метрология и измерения в целом Классификатор государственных стандартов Общетехнические и организационно-методические стандарты Государственная система измерений Государственные эталоны единиц физических величин и государственные поверочные схемы Тематические сборники Государственная система обеспечения единства измерений.
ГОСТ Р 8.716-2010ГОСТ Р 8.716-2010ГОСТ Р 8.716-2010ГОСТ Р 8.716-2010ГОСТ Р 8.716-2010ГОСТ Р 8.716-2010ГОСТ Р 8.716-2010ГОСТ Р 8.716-2010ГОСТ Р 8.716-2010ГОСТ Р 8.716-2010ГОСТ Р 8.716-2010ГОСТ Р 8.716-2010